Advanced-level | FOM alphaSC

De FOM alphaSC vertegenwoordigt de ultieme combinatie van controle, functionaliteit en veelzijdigheid in dunne-film onderzoek en productie. Alle elementen van de hardware, software en premium functies zijn op maat gemaakt om experimentele fouten te elimineren en de bruikbaarheid met zowel flexibele als stijve substraten te vergroten. De FOM alphaSC biedt gebruikers een ongeëvenaarde veelzijdigheid, precisie en reproduceerbaarheid van processen voor een breed spectrum aan laboratoriumschaal materialen en coatingprocessen die relevant zijn voor de industrie en de academische wereld.

• Microporeuze vacuümhouder met gelijkmatige verwarming
• Gemotoriseerd, zeer nauwkeurig bewegingssysteem van de chuck (stappen van 10 µm)
• Gemotoriseerd, zeer nauwkeurig gantry-bewegingssysteem (stappen van 10 µm)
• Externe snelbedieningsbox voor handmatige bediening
• Naadloze integratie in glovebox
• Volledig geautomatiseerde mogelijkheden voor depositie recepten
• Geïntegreerde oven upgrade beschikbaar
• Geschikt voor verwerking van roll-to-roll
• Temperatuurgestuurde spuitpomp
• Verwarmde slot-dies van omgevingstemperatuur tot 80 graden Celsius
• Droogopties (IR, UV, hete lucht, stikstof spoelluchtmes)
• Groot vacuüm chuck-oppervlak vanaf A4

Ontwerp

De FOM alphaSC is de gouden standaard voor onderzoekscentra van wereldklasse met ambitieuze technologische ontwikkelingsplannen. Een combinatie van volledige automatisering en naadloze integratie van besturingssoftware is de ontwerpfocus die ongeëvenaarde reproduceerbaarheid mogelijk maakt voor een systematisch experimenteel ontwerp.

Vloeiende automatisering en “lab-to-fab” benadering

Of u nu fundamenteel onderzoek doet, concepten van de volgende generatie ontwikkelt of een recordrendement nastreeft, de FOM alphaSC is uitgerust om uw ontwikkeling te versnellen, ongeacht of u zich richt op stijve of lichtgewicht flexibele substraten. De integratie van een microporeuze substraathouder zorgt voor een homogene aanzuiging, waardoor extra stappen om het monster in het substraat te fixeren vermeden worden. Samen met de software-geïntegreerde pomp en de geautomatiseerde verticale en laterale beweging van de slot-die kop, zal de FOM alphaSC een hoge doorvoer, zeer systematisch experimenteel ontwerp met een versnelde workflow mogelijk maken. Post-depositie behandelingsstappen zoals drogen/annealing, gecomprimeerd gas voor sneldrogen en docking modules kunnen worden toegevoegd aan de stand-alone FOM alphaSC tool om een kleinschalige pilot verwerkingslijn te worden. De FOM alphaSC tool is goed uitgerust om het technologieniveau van uw onderzoek te verhogen en proof of concepts te demonstreren van laboratorium tot productie.

Reproduceerbaarheid en hoge precisie

De software biedt de mogelijkheid om een protocolbibliotheek te genereren waarmee een depositieproces met hoge precisie kan worden teruggeroepen en gereproduceerd, zodat de onderzoeker inzicht krijgt in de variabelen van het coatingproces.